最近在整理复旦微电子方向的课程资料时,发现这门《半导体器件原理》上海市精品课真是干货密度超高!作为国内顶尖高校的核心专业课程,完整覆盖了从基础pn结到量子阱激光器的全链条知识。
身边在SMIC工作的师兄说,他们面试芯片工艺工程师时,MOSFET的阈值电压计算和双极型晶体管开关特性是必考题。这门课60个学时把器件物理讲得特别透彻,还配有复旦微电子系特有的工艺仿真实验。
课程从三个维度构建知识体系:首先是半导体物理基础复习,重点强化载流子输运方程;然后深入到BJT和MOSFET两大核心器件,最后拓展到微波器件等前沿应用。
第二单元的双极型晶体管部分会重点讲明白三个特性:
MOS器件章节最烧脑也最实用,特别是阈值电压公式推导那部分。老师会结合TSMC的28nm工艺实例,讲解氧化物电荷对Vth的实际影响。
课程最大的亮点是每次讲到小尺寸效应时,都会同步演示TCAD仿真软件结果。看着沟道长度从1μm缩小到28nm时器件特性的变化,比纯理论生动太多。
完整课程分为7个渐进式模块:
记得课程最后有个开放性作业特别有意思:根据给定的I-V曲线反推器件参数,完全是模拟实际研发中debug的场景。
这门课虽然需要先修半导体物理,但讲课老师特别擅长用能带图来可视化抽象概念。建议搭配《半导体制造技术》一起学习,对理解器件工艺-性能关联特别有帮助。
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